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半導體設備半導體設備零件指在半導體生產製造過程中的設備。半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備，電子零件...等等。 集成電路設備零件 集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手 （潔淨、真空）、高溫加熱裝置 （溫控器）、射頻電源、真空閥門等。[1] 光伏設備 PRCE晶矽太陽能電池片生產線設備 全自動、智能化、大產能單晶矽生長和切片設備 上述部分產品是需要用到精密零件加工半導體設備零件半導體設備零件